志尚率先推出最新無放射性射源 IMS分析儀 酸鹼一機分析

志尚儀器半導體展展出高科技廠房酸鹼排氣體及PM 2.5成分監控暨最新無放射性射源IMS AMC酸鹼一機分析。志尚

志尚儀器率先推出「無放射性射源」IMS分析儀除了提供終端客戶免除傳統IMS以鎳63或氚等放射性元素作為游離源，導致客戶不論在使用或維修上都有著極大的困擾。

此外更由於Chemical Dopant的限制需要一種氣體一台分析儀造成成本的提高，為此志尚儀器特別與國外研究機構合作推出最新一代「無放射性射源」且可商用化的離子光譜分析儀(IMS)除了不用任何「放射性元素」作為游離源，並可一機分別偵測Ammonia/Total Amines及HCl/Cl2/HF/Total Acid 的最新第四代IMS分析儀。

此外根據環保酸鹼排與PM2.5監控的需求以及針對Semi IRDS 2017上的其他AMC量測方式，志尚儀器也與國立陽明交通大學環境工程研究所的蔡春進教授合力開發線上酸鹼排放暨AMC分析系統(PWPD-IC)，除了可以針對大氣做成分分析也成功應用於高科技廠房有關酸鹼排放氣體(五酸一鹼)的線上偵測，目前已經在相關半導體大廠以及相關LCD龍頭的公司都已經裝設並有效提供使用者改善的對策。

另外蔡教授也採用本方法針對排放到大氣中的顆粒(PM2.5)與氣體成分進行24小時的監測。另外志尚儀器也提供客戶除了光腔衰盪光譜(CRDS)分析儀外的另一選擇「光聲光頻」分析儀(PAS)可針對許多特氣中的不純物氣體進行分析。此外志尚也提供RGA線上質譜系統以及線上型ppb級總有機性氣體(TVOC)等解決方案；也會展出高科技廠房常用的工安環保及IAQ等相關設備。

最新「無放射源」IMS分析儀 符合SEMI IRDS Roadmap微污染分析

在SEMI IRDS Roadmap中所建議半導體廠中偵測AMC的分析方法為PPWD-IC、IMS、PAS、CRDS、PID、APIMS等，而IMS技術為目前最常用的監測方式，主要在於其價格相對較低與操作簡易，但是以往客戶都會因為使用了含有鎳63或是氚等放射性元素造成使用上有著不少的限制，因此近年來志尚儀器一直努力不懈的與國外做相關技術的交流。

目前已經成功的開發出最新一代的離子電泳分析儀(IMS)，其設計納入了前幾代的優點：可以使用空氣做為Dopant外也可以採用化學Dopant，另外在電路上也採可以交換正負極的方式一機可分別偵測酸鹼兩種氣體，並且使用空氣為電荷供應源時可以同時量測多種酸性氣體(HCl/Cl2/HF/H₂S/SO₂)；此外可加溫的偵測器設計可以避免樣品濃度過高造成汙染。

最新高科技廠房排放管道線上酸鹼氣體暨PM 2.5質量及成份分析技術

志尚儀器在交大環工所蔡春進教授的指導下，成功將原本使用在AMC領域的PPWD(濕式平行板氣液吸收器)用於排放管道中五酸一鹼的偵測，也可經由SDEP/PILS進行微粒中化學成份的分析。

此外更與蔡教授合作發展新型的排放管道PM2.5光學式線上連續監控系統，針對高科技廠房中因為酸鹼氣體與高濕度造成光學系統的不準度設計特殊的前處理設備，更使用Beta-Gauge做雙重驗證確認數值準確度。

此外近來更合作開發相關PM2.5及氣膠微粒採樣設備，回收率可達95%以上，與之前的Denuder合體可以同時且有效的針對酸鹼排放管道氣體及PM2.5微粒樣品進行成分分析；目前並成功與林口電廠合作監測上下游排放 PM2.5與大氣的成分。

防止地球氣候繼續暖化 志尚提供相關溫室氣體分析儀

由於溫室氣體效應造成地球持續暖化現象，溫室氣體的排放為現在高科技廠房重中之重的課題，志尚儀器代理國外知名的溫室氣體分析儀以光腔衰盪光譜(CRDS)與光聲光頻光譜(PAS)兩種技術，提供高科技廠房相關客戶高準確性或是高C/P值的溫室氣體分析技術，偵測極限低、準確性高，目前部分已裝設在台灣環保署的相關測站中， 提供甲烷(CH₄)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO₂)、一氧化二氮(N₂O)等溫室氣體。

如需進一步志尚產品訊息，請上官網查詢，或來電指教0800-000501，歡迎業界先進蒞臨會場參觀指教，展示攤位號碼：南港展覽館4樓L0208。