Edwards將展示乾式泵浦和尾氣處理解決方案

專業真空產品和尾氣處理系統及其相關加值服務供應商Edwards公司，將參加SEMICON Taiwan國際半導體展覽，展示其先進的乾式真空泵浦，以及供半導體、太陽能光電、平面顯示器和LED等產業在生產製造過程中，有助將使用期間的整體成本及環境影響減至最低的尾氣處理解決方案。

參展展品中包含iXL120、iXL1000、iXH6050H等乾式泵浦，以及eZenith和Atlas系列各級尾氣處理系統。另外，STPiX3006也將在台灣經銷商日揚科技 (Highlight Tech Corporation)的展位同時展出。

SEMICON Taiwan展會中將看到iXL1000的正式發表，它是為電介質刻蝕及輕型應用所設計的新型乾式真空泵浦，相較於同等級iGX/GX系列乾式泵浦，它能再有效降低多達33%的耗電量。

同時展出的高吞吐量iXL120，是市場上最小(450mm x 230mm x 280mm)與最輕(59 kg)的泵浦之一，適用於在製程室快速抽真空及淨化應用方案。它的小尺寸特點能安裝在製程工具下，或隱藏在晶圓廠(fab)的樓板層(waffle floor)，有效節省fab空間。

乾式真空泵浦iXH系列結合了最先進的技術，能有效地掌握並符合半導體、平面顯示器、太陽能和LED等產業在生產製造上的嚴苛需求。Edwards研發的最新一代STP渦輪分子泵浦，提供了一個完全磁懸浮且高速的轉子，同時也更整合電源供應和控制器於其中。

Edwards亞太區總裁Neil Lavender-Jones指出：「在沉積和環境保護處理程序中，真空和尾氣處理解決方案絕對是非常重要且關鍵的。台灣是所有領先半導體產業中的生產重地，我們很榮幸能在此地的巨大成就和發展中做出一點貢獻。很高興今年能再次於SEMICON Taiwan介紹Edwards真空和尾氣處理的最新技術。」

Edwards產品的創新，持續在低能耗和高效能之間找到完美平衡，滿足先進產業技術如3D半導體晶片製造在製程處理上的需求。公司的「平台」(platform)設計方式能實現快速的產品研發，乾式泵浦的效能也有效符合半導體、LED、平面顯示器與太陽能等產業，在生產過程中面對新挑戰的需求。