安智電子材料開發新穎有機矽氧烷化合物材料

Siloxane 於金屬氧化物TFT之應用。

安智電子材料(AZ)致力於矽材料商業化開發已超過10年的歷史。業界所熟知塗佈介電材料PHPS(Per hydro poly silazane)聚矽氮即為產品之一，在半導體90奈米以下製程已受到廣泛應用。

矽材料開發

但有鑑於製程上的要求及所需特性的差異，PHPS無法在光電或其他產業上被接受，因故改採用矽氧前驅物(Siloxane)的材料來滿足生產及設計上的需求。

主鏈結構使得此類材料的特性偏向類似二氧化矽的無機材料，在耐熱性、透光性及電性上均較有機材料有所提升。而支鏈的部分採取有機官能基的修飾，能針對應用厚度、所需光電特性或製程條件等加以調整，以達到符合應用端所需的目標。

而在平面顯示器規格提升之下，製程亦有複雜化的趨勢。保留性材料的最終特性將直接影響到顯示器的表現。正型感光Siloxane材料在高溫及後續熱製程都呈現出優異的穿透度穩定性。而開發中的負型材料不論在穩定性或感光速度都較正型材料有更進一步的提升。

應用案例

近年來無論在高解析或OLED顯示器的開發上，金屬氧化物半導體的應用益趨重要。由於製程溫度要求大於攝氏300度，有機材料已不符合製程條件的需求。工研院及日本奈良大學以本公司材料進行元件驗證，均獲得了良好的電性表現。