技術與服務兼具 上海新陽揮軍3D封裝

上海新陽半導體材料公司副總經理智文艷。

隨著3D IC先進封裝技術在半導體產業的蓬勃發展，全球半導體材料近年來也在快速成長，新材料、新技術不斷湧現，引領技術創新的高潮。亞洲正逐漸成為全球半導體產業的技術和市場核心，由大陸與台灣所形成的「大中華市場」，讓彼此之間有著相當頻繁的交流。

2014年9月上海新陽半導體材料股份有限公司作為大陸知名半導體材料核心應用技術供應商，繼2013年參加SEMICON Taiwan 2013後，今年應邀獨立參展。

今年恰逢上海新陽成立15周年、上市3周年，經過市場的歷練，上海新陽現有員工240餘人，擁有國內外專利與授權專利合計共104項，和兩大核心技術——電子電鍍與電子清洗，並先後開發研製出四大系列100多種電子化學品與30多種配套設備產品，形成完整的技術體系和豐富的產品系列，其中用於晶圓電鍍高純銅電鍍液和添加劑系列產品，達到世界領先水準。

在過去的一年，上海新陽在大陸取得了豐碩的成果，兩個核心技術均有里程碑的進步。Damascene VMS成功進入中芯國際上海廠？北京廠的中央供應系統，同年成為韓系記憶體大廠合格供方。在技術方面，憑藉自主創新的理念，前後開發出超高速凸點電鍍技術(鍍速可達到每分鐘6~8微米)，此項技術具有高可靠性、高產出的特點，為目前的穿戴技術提供更好的互連解決方案。

在乾法蝕刻後清洗方面，無論是鋁製程(90nm以上工藝)還是銅製程(90nm以下工藝)，均打破了國際壟斷的局面，獲得大陸半導體廠商的高度認可，引領半導體材料市場新風潮。在配套設備開發方面，劃片刀的成功開發也打破了國外劃片刀的壟斷，憑藉過硬的技術力量和完善的產品應用工藝，贏得了客戶的認可和行業的認同。

全自動單片式清洗？電鍍機台讓上海新陽設備成功跨越到更為先進、技術更為苛刻的半導體前道製程，驗證了「一切皆有可能」的事實。有恒心、有信心一切都可以實現，上海新陽就是一個讓他人認為沒有可能的事變成可能的創新型應用技術型企業。正是憑藉「技術、品質、服務、合作」四大核心價值理念，上海新陽不斷發展進步，贏得市場與行業的認可，更獲得大陸「02」國家重大專項的青睞，成為本土半導體材料優質供應商。

從封裝測試到半導體製程

上海新陽半導體材料公司副總經理智文豔表示，上海新陽是一間極具技術能力的半導體材料供應商，為了能進一步擴大市場觸角，希望進一步從封測領域垂直向上，往半導體製程與晶圓級封裝領域邁進，而這意味著上海新陽的產品線更為完整而豐富。

由於大陸與台灣在地理位置的關係，上海新陽與全球晶圓代工的領導業者有相當密切的配合。智文豔分析，台灣在全球半導體市場具有相當指標性的地位，在先進製程方面居於領先的位置，而這幾年相當火熱的話題——穿戴技術及3D IC封裝技術，是台灣半導體產業十分關切的議題，隨著這幾年的發展，業者們都有明顯而殷切的需求，在品質的要求上也比過往嚴格許多。上海新陽以此為契機，開發出TSV填充技術，Bumping Copper Pillar高速電鍍銅技術，並成功實現量產，打破原有競爭對手的壟斷地位，在品質和運行成本上為客戶提供更為優異的解決方案。

提升產能  需從新式半導體材料下手

從半導體製程的角度切入，要提升產能的做法，不外乎是從擴大產線與採用新式材料兩種面向來著手。但智文豔認為，前者的作法需要投資相當大量的資金，門檻相對較高；後者的成本就相對較低，若能在不增加成本的前提下來提升量產速度，是較為經濟的選擇。若是採用上海新陽旗下MSA體系的甲基磺酸銅，就有機會達成這樣的效果。她坦言，全球半導體材料的供應商大多由美日兩大陣營所壟斷，上海新陽的確有能力、有信心打破這樣的局面。

技術領先  指標客戶動作頻頻

市面上現有的記憶體三大陣營的確在3D IC上投入不少心力。智文豔不諱言，韓系、日系、美系半導體製程大廠均有與上海新陽接洽，許多業者已經不止一次從總部派員過來考察上海新陽在3D IC方面的材料技術，顯見該業者高層對於上海新陽的高度重視。

而全球晶圓代工領域的指標性業者近期也向上海新陽提出材料上線測試的要求，封測大廠也將於今年針對上海新陽所提供的高速電鍍銅材料進行測試，這些案例都證明了上海新陽雖然是大陸業者，但已經開始獲得國際一線半導體大廠的注意甚至是青睞。

以服務為優先  開拓多樣合作模式

智文豔進一步談到，上海新陽是一家應用技術為導向的公司，清晰地瞭解技術服務的重要性。向客戶提供完善的技術支援和協助客戶完成成本控制、品質提升，是上海新陽持續秉承的理念。

「一站式」(one-stop shop)解決方案成為上海新陽的品牌，從工藝出發，開發更適合客戶應用的設備，讓客戶沒有後顧之憂。在物流管理方面，透過ERP系統的協助，來達到高效率與即時送達的目標，在最短時間內滿足客戶需求。在產品品質上，採用SPC過程控制，確保電子材料的連續、均一、穩定性不受影響。再者，上海新陽旗下亦有強大的分析檢測團隊和先進分析檢測儀器，可以在第一時間協助客戶進行失效分析和產品檢測。正是這種個性化的服務，贏得客戶的信賴與支援，像是封測龍頭日月光大陸廠與上海新陽合作時間已達8年之久。

著眼未來  完善產業佈局

積體電路產業歷來受到大陸的高度重視，《積體電路產業「十二五」發展規劃》、《「十二五」國家戰略性新興產業發展規劃》等國家戰略性計畫為大陸半導體行業發展奠定了扎實的基礎。上海新陽正處在大陸積體電路發展的最佳時期，依賴上市企業金融市場的優勢，著眼未來開始進行產業佈局。

2014年初投資了300mm大矽片專案——300mm半導體矽片是大陸半導體產業鏈上嚴重缺失的一環，長期以來一直依賴進口。從國家發展戰略和安全戰略上考慮，上海新陽必將再次填補大陸半導體核心材料的空白，為大陸半導體產業矽片供應的安全性及產業鏈的完整和穩定性，注入新的活力和動力。上海新陽正用自己的點滴行動來實現自己的企業夢和大陸半導體行業夢。

上海新陽也獲得SEMICON Taiwan 2014的邀請，擔任半導體系列論壇的重要演講廠商之一，題目為「Process Control for TSV Electroplating」，將由上海新陽的王溯博士演說。誠摯邀請業界人士至上海新陽的展場攤位(南港展覽館攤位號碼1006~1008)參觀指教。

關於上海新陽產品技術，請至官網查詢：http://www.sinyang.com.cn/