高科技廠房工安風險管理與環境偵測應用--以半導體廠房為例

晶元光電環安處處長林木榮

發生在今年2月6日芮氏規模6.1的高雄美濃地震，不僅因為維冠金龍等大樓倒塌，而造成重大傷亡，鄰近震央的南科園區，也遭受嚴重損失，而且對工廠持續營運管理的影響更是嚴重，如何有效對抗天然災害所帶來的工安意外，顯然已是所有業者的必修課題。

晶元光電環安處處長林木榮指出，在Allianz Risk Barometer 2016所列出的十大企業營運風險中，營運中斷的排名最高，而造成營運中斷的原因很多，可能是天災，也可能是財務面的問題；第二名是市場環境的變動，第三名是網路風險，第四名就是天災。

BCI Horizon Scan 2016在針對74個國家、568個組織調查的結果，也指出企業為未來所面臨的威脅中，第一名是網路攻擊，第二名是資料遺漏，第三名是計畫外的IT及通訊中斷，而其中第七名供應鏈中斷，其實也跟天災有關。

林木榮指出，企業營運既然不能中斷，有42%的製造業會增加相關方面的投資。但業者一定要意識到，不同的災害，必須要有不同的防災機制。如地震的災害是在一瞬間就會發生，不像火災是逐步蔓延，所以企業要有能力在地震來臨時，可以在一瞬間啟動防災機制，才能讓損害減至最低，也才能在最短時間內恢復生產。

其實早在1999年的921地震，就已經對高科技產業造成重大影響，光是機台設備移位、石英管受損等損失金額約新台幣1億元以上，報廢的晶圓估計更高達5億元以上，停工損失估計更高達100億元以上。

無獨有偶的是，日本311大地震也對該國產業造成重大影響。但災害事故發生後半個月，三菱重工就已經恢復運作，公司價值也馬上回升，有些公司卻花上一年才恢復生產。而Nissan的恢復速度也比TOYOTA來得快，因為前者在日本的生產比例比後者要分散(20% vs 45%)。

因此早在高雄美濃地震發生前，晶元光電就已經意識到，地震顯然已經是台灣業者必須面對的工安風險，由於無塵室的機台並沒有明顯的防震設計，於是透過再保公司的協助，希望能加強機台防震設計。

林木榮表示，由於機台數量非常多，不可能每個機台都去做防震設計，所以第一步就是先篩選高風險機台，篩選標準包括危險性、易傾倒、高價值、易受損、關鍵性及修復時間長短等，然後針對既有固定件強度測試、蒐集機台資料後，開始設計防震腳座並實際安裝。

而在高雄美濃地震發生時，廠內地震儀測得最高290gal，相當芮氏規模6的地震，所幸機台防震設計奏效，所有實施防震固定件專案的妥善率皆達100%，機台設備穩定無影響，固定件螺絲也沒有鬆脫，可見只要未雨綢繆，就能防患於未然。