提供多樣完整之解決方案 TEL持續突破半導體先進製程技術

隨著半導體製程技術持續微縮， 進入微影新世代，除了透過製程微縮來強化半導體元件的效能之外，立體堆疊和異質整合的技術也需要各種新結構與新材料的發展。這些發展也為半導體製造設備製造商開啟了更多的機會與創新動能。

Tokyo Electron(TEL)在台子公司–東京威力科創股份有限公司執行副總裁張天豪表示，TEL擁有58年開發高科技製造設備的悠久歷史，在光阻塗佈／顯影機(Coater/Developer)、蝕刻(Etch)、薄膜沉積(Thin film deposition)、清洗設備 (Cleaning)、針測機(Wafer Prober)等產品上取得領先。隨著產業進入EUV微影新世代，TEL在EUV量產應用上的塗佈／顯影機(Coater/Developer)取得了100%的市場佔有率。

以此優勢，TEL將持續強化其各項產品並提供整合式製程解決方案，以因應客戶的先進製程需求。同時，TEL也開發TELeMetrics支援服務，提供大數據分析及遠端專家系統，協助客戶最佳化設備運用。此舉亦滿足客戶的智慧晶圓製造(Smart Fab)計畫，以提升生產力、良率和獲利率。

EUV可望進一步擴大採用

談到半導體技術的發展趨勢，張天豪表示，邏輯元件仍將持續微縮。為了在生產力與成本之間取得平衡，元件製造商除了在先進製程採用EUV之外，也必須增強現有的ArF浸潤式微影技術。此外，EUV技術亦將被用來製造下一代DRAM。

其次，創新的3D結構，包括FinFET、GAA、3D NAND，以及釕(Ru)等新材料，對於未來先進製程的開發深具潛力。

第三個趨勢是，隨著AI應用的快速發展，為了加速運算，業界也開始更廣泛地討論邏輯與記憶體整合的設計發展，包括在邏輯晶片上加入嵌入式記憶體元件(embedded memory)，或是在記憶體晶片裡加入運算單元(in-memory computing)，此外，也發展出多樣化的先進封裝解決方案，以實現多樣的異質整合元件設計。

身為領先的半導體設備製造商，TEL已制定了多項策略，來因應這些新興的製程挑戰。張天豪指出，「TEL為塗佈／顯影機市場的長期領先者，現更已囊括所有的製造用EUV塗佈／顯影機市場。在製程微縮趨勢下，EUV的採用勢不可免，並將從邏輯擴展到DRAM製造，必能為我們帶來更多的機會。」

對TEL來說，除了塗佈／顯影機市場的進一步擴大之外，面對創新需求，TEL也推出了其他產品線的解決方案。TEL的蝕刻(Etch)、原子層沉積(ALD)和熱製程CVD、擴散爐管(Diffusion)、針測機(Prober)和清洗設備(Cleaning)都擁有排名第一或二的市場地位。可以說，全球的先進半導體元件若缺了TEL的設備是難以被製造出來的。

「因為我們擁有悠久歷史以及廣泛的產品組合，我們有能力，可針對客戶的特定需求提供整合的製程解決方案。TEL將積極開發新技術，以建構具高附加價值的下一代產品。9月25日，TEL企業創新戰略部門總經理関口　章久/Akihisa Sekiguchi博士將在SEMICON Taiwan IC論壇發表線上演說，針對我們的技術與元件技術趨勢做更詳盡的說明。」

的確，隨著各種新技術的興起，製程挑戰也變得更為複雜。在後摩爾定律世代，TEL看到了通訊、醫療、汽車等智能及物聯網多樣化的應用。晶片業者在追求客製化設計的同時，也希望能滿足超高效率的大量生產目標。「對設備業者來說，要達成此目標，與客戶提早展開合作，以加快產品開發時程，顯得更為重要。」

張天豪還特別強調，TEL的針測機最新產品線已委由代工業者在台灣製造，可滿足客戶端客製化與快速的要求。同時，也成立了軟體團隊，提供高階晶片複雜測試的技術支援。

智慧製造蔚為風潮　TELeMetrics服務正式就緒

在強化技術研發的同時，隨著製造技術從自動化朝智能化邁進，TEL也積極導入AI技術，擴展了服務支援的能量。

張天豪表示，智慧製造的應用有許多不同的層次。TEL已在設備設計階段即廣泛採用數位模擬技術。

另一方面，TEL已正式推出TELeMetrics服務。透過此服務，TEL提供大數據分析及遠端專家系統，為客戶的特定問題找出解決方案，例如故障排除、分析設備間差異、提升生產力，以及運用機器學習實現預測性維護等。

最後，張天豪指出，不管是提升研發和服務支援，背後最重要的推動因素，是來自源源不絕的創新，這也是因應5G/AI應用快速發展所不可或缺的。

為此，TEL近年加強了對創投的資源挹注，旗下TEL Venture Capital公司已成功進行多項投資，標的涵蓋新興記憶體、奈米結構、量子點顯示器等各種新創公司。

「TEL的目標是期望透過創投，擴大合作夥伴的範疇到整個技術供應鏈，從上游的晶片設計，到材料、軟體開發、製造和其他應用均涵蓋在內，不再侷限於半導體設備技術。」

他強調，「我們相信，擴大視野，推動多元創新，強化異業合作，將是致勝高科技產業新世代以及提升我們對客戶價值的重要關鍵。TEL將持續致力於發展最佳的產品與最佳的服務，以為公司未來的長期發展奠定堅實基礎，並協同產業合作夥伴為創造理想社會貢獻心力。」