思達推出整合性3D IC精密參數自動測試設備

思達科技雙子星(STAr Gemini)，是針對3D IC製程驗證與量產開發的自動測試設備。

半導體測試系統與探針卡領導廠商思達科技於2014年9月3日宣佈，推出針對3D IC製程驗證與量產開發的思達雙子星系列自動測試設備(STAr Gemini Series Automatic Test Equipment；ATE)。此系列整合式自動測試設備，可滿足針對參數監控、可靠度驗證與良裸晶粒(Known Good Die；KGD)測試的3D IC整合性測試需求。

思達雙子星自動測試設備，廣泛涵蓋3D IC系統封裝的基材與製程，如直通矽晶穿孔(Through Silicon Via；TSV)、矽中介層(Silicon Interposer)、銅柱凸塊(Copper Pillar Bumps)等等的製程監控、良率與可靠度測試；3D IC堆疊後的良裸晶粒功能測試也可一併完成。

思達雙子星混合式自動測試設備，具備20個儀器模組的創新架構，可擴充且與外部儀器整合。其可配置的模組與儀器，茲分述如下：

1. MPX04：4通道精密中度功率電源量測單元(Force-Measurement Unit；FMUs)多級別範圍精確電壓與電流輸出與量測單元，0.0V~±100V與±0.1pA~±200mA。

2. LSX48：48通道低漏電開關矩陣器(Low-leakage Switch Matric；SWM)內含48獨立電源通道、4×48向0.1pA/V低漏電通道與4獨立高頻寬1.0GHz通道。

3. LPX48：48獨立通道電壓與電流單元(Voltage-Current Unit；VIUs)獨立通道多級別範圍電壓與電流輸出與量測單元，-16V~+20V與±0.1nA~±50mA。

4. PDX96：96個別通道參數量測單元(Parametric Measurement Units；PMUs) 100MHz的-1.0V~+5.5V個別參數量測單元，16MB向量記憶參數的數位輸入與輸出源。

5. 連結外部儀器：外部儀器可通過16個1.0 GHz高頻通道與16個精密低漏電通道銜接內部系統。測試軟體擁有超過100多種外部測試儀器的驅動程式。

思達雙子星自動測試設備，可搭載高達960個全矩陣低漏電通道，得以精準地量測微小訊號如微歐姆電阻(micro-ohm)、皮安培電流(pico-ampere)、飛法拉電容(femto-farad)等等。此系統也可搭載最高1,920個參數量測單元通道，實現高複雜度的3D IC堆疊後的良裸晶粒功能測試。

它同時具備高彈性配置，是容許高通道數的混合式自動測試設備，有效範圍涵蓋參數、可靠度與功能等測試，可滿足大多數3D IC製造與整合的完整功能性與可靠度的品質需求。

雙子星測試運作軟件是建構於已安裝超過600套的思達人馬座(STAr Sagittarius)整合測試軟件系統。其已經取得專利權的強化的功能，包含動態資源分配與智慧切換，使得單一量測系統能同時進行平行異步測試，和多個虛擬的測試配置。

思達科技執行長劉俊長博士表示：「雙子星自動測試設備是理想的多用途新款測試系統，可滿足參數、可靠度與功能等等的測試需求，毋需使用不同機台進行3D IC品質量測。此款基於客戶需求設計開發，高度可配置性與客製化的測試解決方案，能以最低品質測試成本，縮短3D IC的上市時間，達成time-to-market的效益。」