永光成功進入穿戴式產品供應鏈 供應關鍵光阻劑

永光建構高階黃光微影製程設備。

永光化學於1998年設立電子化學事業處，歷經十多年的研發技術精進，成功跨行本土唯一IC光阻劑供應商，完整佈局在半導體製程G、I-Line光阻的產品版圖。

回顧1995年自工研院材料所共同合作開發光阻技術以來，永光化學持續致力於研發IC產業應用之電子化學品，目前供應品項涵蓋IC、LCD、LED光阻劑、顯影液，清洗液以及用於研磨製程的研磨液、拋光液等，其電子化學事業也已逐步提升成為兩岸市場重要供應鏈。

永光化學電化事業副總經理林昭文表示，「這五、六年來我們核心技術不斷提升，同時與產業發展需求俱進。近期的穿戴式產業商機，永光在IC、LED黃光微影以及藍寶石關鍵材料，已經成功導入穿戴式產品供應鏈。」

9/3~9/5 Semicon Taiwan  永光展出穿戴產品關鍵光阻劑

根據IEK估計，2018年穿戴式產品可達206億美元，產品出貨約1.9億台。延伸出的產品應用，包括智慧眼鏡、智慧手錶、智慧手環、智慧頭盔、智慧服裝等，而年底即將問世的蘋果(Apple)智慧型手錶iWatch，將帶動穿戴式市場商機，可望成為下一波半導體市場重要的成長動能。

林昭文指出，因應穿戴式產業趨勢，永光已具備穿戴式產品相關零組件所需的關鍵光阻劑供應能力。包括應用在電源管理IC、觸控IC以及MEMS元件產品，如：陀螺儀、加速度計、麥克風等。

搭上這波穿戴熱潮，永光將於9月3日至5日登場的半導體展中(攤位號碼：L區412)，展出應用於穿戴式產品零組件的關鍵材料。包括：1.應用於穿戴式手錶護蓋之LED藍寶石基板的ESR系列拋光液；2.應用於上游晶圓製造之EPG與EPI系列光阻劑；3.應用於零組件封裝之ENPI系列光阻劑。

iPhone 5、5S藍寶石玻璃  帶動ESR系列拋光液成長

蘋果的iPhone 5、5S的後鏡頭及5S的指紋辨識鍵已使用藍寶石玻璃覆蓋，以達到保護的效果，而iWatch的藍寶石錶蓋預計2014年達到全球藍寶石市場的6%。如果2015年銷售達6千萬隻，將占全球藍寶石基板用量的27%。這兩波市場潮流預估將帶動藍寶石基板的研磨液市場大幅成長。

林昭文指出，永光電子化學在藍寶石拋光液方面相對應產品，已能提供應用於藍寶石A-Plane晶圓的ESR系列拋光液，較同類型的二氧化矽拋光液具有移除速率更快速且表面平整度優異的特色，可滿足客戶需求的研磨品質更佳與更低的研磨成本。(藍寶石A-Plane晶圓應用在手機、GPS等3C產品的保護鏡片(Cover Lens)或高階手錶的保護鏡片。)

此外，另一項ESR系列拋光液，永光已經有多種研磨漿料應用在照明市場以及光學市場，主要用在藍寶石C-Plane晶圓的前段粗拋製程以及後段精拋製程，具有極高磨除速度，使藍寶石基板獲得良好的拋光表面與優良的平整度，可提供高稀釋比配方供客戶使用，也能回收循環利用，降低客戶製造成本，提升客戶競爭力。(藍寶石C-Plane晶圓應用在手機Home鍵、相機鏡頭保護蓋以及指紋辨識系統等。)

晶圓製造關鍵材料  EPG與EPI系列光阻劑

全球穿戴裝置半導體市場商機，上游晶圓代工廠商因此受惠，包括台積電、聯電也積極以相關製程因應。林昭文表示，目前8吋晶圓廠產能即可因應穿戴式產品需求。永光電子化學提供應用於G-Line與I-Line黃光微影製程的EPG系列光阻劑，可分別以G、I-Line的曝光機進行曝光，具有附著性佳、耐熱性佳、高感光性、製程寬容度大以及高解析度等特性，目前已普遍應用於晶圓代工客戶。

此外，在今年半導體展，也將展出應用在晶圓製造的保護層(Passivation Layer)以及應用在離子植入層與關鍵層的EPI系列光阻劑，目前已應用在數家晶圓製造廠商製程，具有高感光性、製程寬容度大的特性。

ENPI系列光阻劑  滿足封裝電鍍製程需求

由於穿戴式產品對於零組件的薄型化與晶片整合的需求，必需透過覆晶封裝(Flip Chip)實現輕薄裝置，2012年全球晶片僅約15%採覆晶封裝製程，預估到2017年，採用覆晶封裝製程的比重將拉高到20%以上。包括日月光、矽品、星科金朋等封裝廠均相繼卡位，亦朝覆晶封裝的銅柱凸塊(Copper Pillar Bump)製程技術發展。

林昭文表示，永光提供應用在半導體封裝鍍金製程與鍍銅製程的EPG系列光阻劑，以進行金凸塊或銅線路的製作。在不同的蝕刻製程下，光阻圖形皆能展現不脆裂與高解析度、高深寬比的優點。具有塗佈性佳、附著性佳、耐電鍍性佳等特性。目前該類產品同時供應給被動元件廠商以及太陽能矽晶圓廠商使用。

此外，也展出應用在半導體封裝電鍍製程之金凸塊(Au bump)、銅凸塊(Cu bump)製作的ENPI系列光阻劑。具有高解析度、優異的耐電鍍液等特性，且圖形邊壁垂直，可製作出垂直無缺陷的金屬(金或銅)凸塊，幫助IC封裝產業帶來良率的提升與競爭優勢。

LED照明市場熱絡  PSS製程的EPI光阻劑需求增

LED照明市場商機增溫，兩岸的圖案化藍寶石基板(PSS)廠商均積極擴產，估計2014年全球圖案化藍寶石基板產能擴充至5,290萬片，年成長幅度達8%。永光推出使用在PSS(藍寶石基板圖形化Pattern Sapphire Substrate)製程的EPI系列光阻劑，具有附著性佳、高解析度、製程寬容度大等特性。

林昭文表示，PSS基板主流已由過去的2吋發展為4吋，未來更朝6吋邁進，永光將與產業趨勢同步地精進製程技術，持續開發更高階及高解析度之PSS應用的光阻劑，以符合客戶製程提升的關鍵材料需求。

永光「綠金製程」願景起飛  2020年80%綠色化學解決方案

半導體與光電產業業者常以綠色製程、綠色產品概念導入原料與製程中，身為電子化學品重要供應商，永光更重視公司如何在綠色環保抽象理念中與實務上結合。

林昭文表示，兩年前，交大管理科學系教授朱博湧在其《綠金企業》一書中，收錄永光化學點綠成金案例，為企業提出了「綠金就是藍海」的新方向。永光近期也找朱教授來輔導，如何實現綠色承諾願景目標，並訂下永光化學綠金願景。預期2020年將有超過80%的營業額，能夠跟綠色化學解決方案相關。另外一個目標就是永光的溫室氣體生態效應，2020年的溫室氣體的生態效應是2005年的3倍。顯示永光綠色布局的決心，正一步步向前實現對客戶的品牌承諾「Better Chemistry Better Life」。