廣運設備前端模組EFEM 將在Touch Taiwan展亮相
- 黃女瑛／台北
設備商廣運將在本次Touch Taiwan 2015當中展出「設備前端模組EFEM(Equipment Front-End Module)」，該產品更有效降低製程汙染源及受負氧化層影響，該產品已與台灣半導體設備龍頭申請科專技術研發，且廣泛應用在半導體、IC載板、P...
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