淨零碳排議題發燒 TEL推動環境友善解決方案

拜大量的半導體製程投資之賜，SEMI在2021年12月的報告指出，2021年第3季全球設備業者持續創造268億美元的銷售額，年成長率高達38%，比前一季還成長8%。

從2020年開始，產業界預期看到非常罕見的連續3年半導體設備銷售的成長，大量的半導體晶片的需求因為高效能運算(HPC)、第五代行動通訊(5G)與人工智慧(AI)、車用電子應用的暢旺驅動下，半導體市場全面的蓬勃發展，橫亙上、中、下游的供應鏈與生態系統展現的火熱前景令人稱羨。

Tokyo Electron(TEL)台灣子公司 - 東京威力科創股份有限公司資深副總裁Peter Karl Loewenhardt接受DIGITIMES的專訪，他看到半導體產業的這一波大幅度的成長，除了晶片的需求暢旺不墜之外，COVID-19(新冠肺炎)的疫情所刺激而引領的社會數位轉型，也成為另一股重要的推力，整個產業變得活躍而生動活潑，醞釀接續的長期成長動能，這讓設備供應商與供應鏈亟需面對接踵而至的挑戰。

由於面對晶片愈來愈複雜的現實，需要提供精密尖端的製程技術，以及良好的可製造性，讓每一顆產出的晶片都可以擁有穩定與一致性的效能，並且同時還需要考量降低製程對環境的衝擊，這是TEL群策群力全面努力的重要領域，並且樂於對產業界與客戶做出重要的貢獻。

全球晶片短缺迫使汽車製造商限制或停止生產線的運作，讓台灣的半導體供應鏈成為全球的焦點，台灣半導體產業的蓬勃發展，讓他覺得非常的印象深刻，台灣晶圓代工產業非常成功的維持客戶的信賴與商譽，並且不間斷的投資先進節點的製程技術，還成功的做到大量生產，在市場上同時支援大量客戶提供源源不斷的產品供給，並享有充足的利潤以持續擴大營運規模，這是台灣的晶圓代工產業如此成功而且持續不間斷推進的原因。

原子層控制技術躍升為關鍵要角

提起先進製程節點的動向，隨著微縮製程技術的挑戰愈來愈大，新的3D電晶體結構與材料技術將在未來新世代的晶片上扮演更關鍵的角色，TEL持續與台灣半導體產業的客戶做更緊密的合作。

目前的技術前景的發展，因應新的3D結構的發展，需要更精密的製程設備與解決方案。

由於薄膜製程越來越薄，製程挑戰也更艱鉅，TEL對於提供製程解決方案以處理3D結構有高度的期待，尤其在原子層控制沈積技術(Atomic level-controlled deposition)或原子層控制清除(Atomic level-controlled removal)的發展感到雀躍，這種以原子為厚度的製程技術，能產生具有高度均勻性、精準厚度控制的薄膜層，TEL並將持續投注開發技術以面對這個嚴峻的挑戰。

除了前段製程的3D結構所需要的製程之外，對於異質整合封裝的趨勢，也是製程設備廠投注大量資源的領域。

將不同製程節點的小晶片利用3D封裝技術加以整合在一個大晶片上，能夠協助電晶體密度以一個經濟有效的方法來增加，將有助於更高密度晶片的誕生，單一晶片的規模與封裝持續演變，對TEL而言，涉足3D封裝技術中的晶圓打線貼合與去除(Bonder/Debonder)機台的開發，這些新發展將持續快速演進。

彰顯永續發展目標 降低對全球環境的衝擊

永續發展目標(SDGs)是全球共同關注的議題，集政府、產業領袖、公民團體與技術社群一起，是一個為更好的未來與環境永續所啟動的行動。半導體晶圓廠會消耗大量的電力、水資源和各種的化學品，TEL身為關鍵的設備供應商，提供高效率的尖端製程機台的同時，還考慮到降低對全球環境的衝擊。

再者，數位轉型的趨勢，透過效率的改善與永續發展的效能提升，扮演一個達成SDGs目標的重要推手，TEL最近在日本的札幌設立Digital Design Square就是專為使用AI技術做為下一世代的數位轉型的預作鋪路之舉。

舉例來說，為了要開發一個低應力薄膜(Low-stress film)的基線製程(Baseline process)，傳統上工程師需要進行50次左右的實驗，才能達成理想的基線製程的數據。但是使用機器學習的技術，只要3次的實驗就可以有效的達到同等的最佳化的結果，而且省下晶圓與其他的製程材料。

這不僅僅只是省時有效而已，最重要的是同步降低電能、氣體與節省其他的重要資源，對環境的衝擊也降到最低。

其他處於不同開發階段類似的例子，也看到了使用科技來節省濕式化學品與熱能，加上共用材料的大量使用等配套措施，有助於改善TEL整體設備的效率，也幫助客戶放大產能並減少多餘的耗費。

綜觀這些TEL針對SDGs所做的努力，驅動TEL進一步於2020年修改「2030永續發展方針」，期盼成為產業界領先達標的科技公司，憑藉資通訊技術所推動的數位轉型，強化TEL達成SDGs目標的決心，再接再厲同時聚焦於先進製程節點的技術發展與SDGs目標的與時俱進的努力，嘗試建立高度韌性的供應鏈，讓全力衝刺經濟發展的同時，還能不偏廢環境永續的努力，為產業界貢獻最大的效益。