凱諾科技展出打造半導體晶圓及EUV光罩自動化最佳方案

凱諾科技於SEMICON Taiwan 2023國際半導體展首次登場（攤位編號：P5712）。凱諾科技

凱諾科技為台灣上市公司京鼎精密科技（股票代號：3413）子公司，公司成立4年來耕耘半導體自動化設備事業有成，在2023年9月6日至8日於南港展覽館舉行的SEMICON Taiwan 2023國際半導體展首次登場（攤位編號：P5712），展示最新半導體晶圓及EUV光罩自動化、晶圓檢測、微污染防治以及機能水等設備。

凱諾科技定位成為半導體晶圓製造廠以及晶圓級封測廠於生產效能提升與良率提升之最佳夥伴，布局先進晶圓製程超高潔淨度環境之晶圓傳送、儲存、監控、檢測、清潔等一系列設備與服務。

包括：
（一）高潔淨度及高可靠度的晶圓分揀機以及晶圓設備前端標準自動化模組；
（二）多站複合式晶圓氮氣倉儲、包裝、拆包及分揀設備，同時整合三支機械手臂達到高效全自動化；
（三）光罩護膜全自動貼合設備以及光罩移載設備，可同時處理EUV光罩及傳統光罩，全自動換線並具備實時AOI檢測機能；
（四）晶圓外觀與顯微檢測設備，可同時進行巨觀檢測以及1000倍顯微鏡AOI檢測；
（五）主動式微污染防治解決方案，包括晶圓載入機氮氣充填設備及潔淨氣簾裝置；
（六）機能水生成設備，為晶圓清洗製程提供奈米級洗淨效能。產品在各大指標半導體廠已有豐富銷售實績，應用於5奈米以下高階製程，並且規格可依製程需求而彈性客製化。

凱諾科技本此展覽將以超潔淨自動化核心技術為基礎，提供多種整合解決方案，期能將團隊20餘年來研發先進設備的專業能力與業界分享，以提供在地化的技術支援結合即時性的售後服務，與客戶共創成長與雙贏。