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亞泰半導體化學自動開蓋及輸送系統獲2024台灣精品獎

  • 張丹鳳台北

全自動開蓋及輸送化學液系統iChemLid獲頒2024台灣精品獎。亞泰半導體
全自動開蓋及輸送化學液系統iChemLid獲頒2024台灣精品獎。亞泰半導體

亞泰一直以來致力於高科技廠房設施領域,尤其在包含諸多貴重原物料的化學品/研磨液輸送系統;在該系統所涵蓋的物料保存、輸送、加工以及品質控管的廠務設施,亞泰展現了卓越的專業實力。高科技製造環境中,特別是半導體製造業,物料的保存、輸送與加工是關鍵環節,不僅需要高度自動化,更需精密的品質控制,以確保半導體對製程高品質的要求。

以物料保存及運載為例,儘管晶片自動化倉儲應用發展相當成熟,但化學品由於作業特性複雜或導入新作業的成本效益低落,化學桶物料控管的實施,仍多倚重人工操作。特別是在化學桶搬運及開蓋作業中,由於作業涉及到數百公斤的化學桶移載,以及開蓋、抽吸液管對正升降操作等複雜性,目前仍多由人為介入及主導作業,這使得作業人員可能面臨暴露在化學品環境中操作的風險。

為因應這一挑戰,亞泰於近年成立了智能自動化事業群,並聚焦於化學品/研磨液供應系統(Chemical / Slurry Delivery System;CDS / SDS)的主要及次要關聯作業,進行智能自動化的創新研發。在此背景下,「全自動開蓋及輸送化學液系統iChemLid」標誌性地誕生,並榮獲2024台灣精品獎。

iChemLid針對原供應系統中的化學液輸送單元,提供預備作業自動化新方法應用,包含了化學桶物料搬運、移載、裝料、進料及退料等關鍵作業。這使得化學液及研磨液原物料能夠精準地移動到設備內,引導進入特定管路系統及半導體製程作業。

亞泰的創新不僅體現在技術研發上,更體現在全球首創最經濟節能的「全自動開蓋及輸送化學液系統」上。這一系統的推出實現了化學桶的「移載、開蓋、抽液」的資料智慧化及作業自動化管理。不論是軟質或硬質的55加侖化學桶,均可進行移載、旋轉及對位。

各種刻痕紋路的化學桶密封蓋,在無需更換開蓋器的前提下,實現了高效率的自動開蓋、取蓋及復鎖蓋。自動對位的抽液管不僅將化學液體抽送至更上層的化學輸送系統,還搭配底盤傾斜裝置,進一步確保化學桶內的液體可傾斜抽空。整合資料採集與監控系統(SCADA)與客戶端的中央廠務監控系統(FMCS),亞泰實現了「化學桶推桶入抽液設備、開桶蓋、抽液管對位置及抽液、鎖桶蓋、復推桶出設備」等作業數據的蒐集、整理、應用與管理,從而實現100%自動化學桶抽液控管。

將iChemLid應用於半導體或高科技廠房設施的化學桶抽液作業,不僅能建立廠務運轉大數據履歷,更能有效節省人力,提高非人接觸化學品,進而降低安全風險。同時,全天候廠務設施管理使得對抽液運轉的全面掌控成為現實,進一步提升工廠智慧化管理水平,協助客戶達到更佳的ESG經營目標。亞泰的iChemLid系統,不僅是技術的巔峰,更是對於工業安全、生產效率和環境友善的承諾。