鈺祥新型再生濾網 有效殲滅半導體製程殺手IPA/Acetone
- 張丹鳳/台北
隨著半導體製程持續精進,在製程改變的同時,舉凡材料、材質都將隨之改變,所以此刻對於半導體製程威脅最大的揮發性有機化合物(VOC)種類,已與過去大不相同;加上ESG趨勢潮流興起,半導體製造商針對化學濾網的材料要求,開始著重可循環、可再生等特質。上述挑戰接踵而至,對於化學濾網業者無疑是巨大考驗。
鈺祥企業董事長暨總經理莊士杰表示,現今客戶(即半導體製造商)對化學濾網的要求極為嚴苛,既要迎合ESG原則,也要具有較長的使用壽命,且必須能同時去除低中高沸點的揮發性有機化合物;其中最需要嚴加防備的氣態汙染物,即為異丙醇(IPA)和丙酮(Acetone)等兩大類低沸點VOC。
鑒於此,身為台灣化學濾網業界領導廠商的鈺祥積極投入研發,成功找出高效濾材、以及強化的再生技術,研發出新一代堆疊式可再生IPA濾網產品IPA-001B,不僅對IPA或Acetone都能展現優異吸附效率,同時一次可執行長達15天過濾任務(意即15天才需更換一次濾網),反觀一般同質產品每隔3~5天即需更換濾網,顯見IPA-001B的產品壽命,足足比市場平均值高出3~5倍。
FFU濾網更換不易,產品壽命及再生使用次數成為重要標準
新一代可再生濾網IPA-001B不只壽命延長,而且還能再生。莊士杰說,雖然市場上並不僅有鈺祥出產可再生濾網;但他牌商品需要短週期的頻繁更換,且歷經3、4次再生製程後,單次的使用壽命就急遽銳減為1天,使用者要在無塵室中搬運濾網,並在離地8~9米高的FFU(Fan Filter Unit)進行置換,整個作業過程需要高專注力及體力,在高頻率的更換下負荷極高,難以符合客戶的期待。
至於IPA-001B,儘管仍會隨著再生次數增多而導致壽命遞減,但衰減速度比他牌商品平緩許多。大致上來說,IPA-001B單一產品包含再生的總使用壽命約60天,其餘競品則不超過12天,前後相差五倍之多;不僅如此,有效降低濾網更換頻率,同時得以大幅減少高達95%的廢棄物,符合ESG淨零減碳精神,稱得上是一大突破。
莊士杰解釋,回顧過往10奈米以上製程階段,半導體業者並不需要像現在一樣嚴防IPA與Acetone,甚至一年僅換一次濾網都行。但隨著製程推進到10奈米以下後,閘極厚度愈來愈小,而大小介於0.1~10奈米的IPA及Acetone,一旦掉落到製程或閘極上,就有極高可能對產品良率造成影響,產生重大威脅,連帶造成濾網失效率增加、壽命減短,而在更換頻度上,若無塵室進氣濃度高需要3天一換,假使濃度低可延長為5天一換,偏高的濾網換置頻率,無論對成本的消耗及廢棄物的產生量,甚至在於高頻率、高處更換FFU濾網的墜地工安風險疑慮,都成為半導體高精密製程產業的負擔及風險,而鈺祥新一代可再生IPA化學濾網的問世,成為了解決難題的金鑰。