海德漢ETEL 專注精密運動控制解決方案的專家

海德漢於SEMICON TAIWAN 2022將展示集團一系列的高精度產品，包含光學尺與模組式角度編碼器、NUMERIK JENA與RSF的開放式光學尺、ETEL的精密運動控制以及適用於電子半導體業的高階運動平台VULCANO2，為您呈現高性能與高產能完美並存的解決方案，歡迎蒞臨海德漢攤位K2870指導參觀。

Dplus編碼器與MULTI-DOF量測技術帶您進入一個嶄新的精度境界

LIP 6000 D plus 與GAP 1081，搭配MULTI-DOF多自由度光學尺的額外反饋，能為您實現極佳的量測精度，使您可以量測與補償在多自由度相關的位置誤差。

RSF的直線/角度編碼器，適用於自動化、電子製造與量測設備的高精度解決方案

RSF編碼器具有豐富的通訊介面設計與尺寸選型，精確、可靠、抗汙、好安裝，適用於對精度、產能都有要求的應用場合，如：PCB、面板、後段半導體製程。MCR15/MSR15模組化角度編碼器，解析度可達25bits，環尺寸由50mm到350mm。MC15/MS15直線光學尺，速度可達10米/秒，解析度可達50奈米。

NUMERIK JENA直線光學尺LIKgo 與 LIKselect，極致精巧、用途極廣

LIKgo 與LIKselect 完美適用於狹小安裝空間與高精度要求，精確、可靠、抗污。這種小尺寸設計的靈活性受益於高度整合電子電路的精巧讀頭以及可自由搭配的玻璃尺或鋼帶尺。

模組式角度編碼器MRP 8100與SRP5000

SRP5000將ETEL直驅馬達與海德漢角度模組MRP結合，成就其高規的運動表現。有空氣軸承的精度表現，擁有機械軸承的剛性，零頓挫力。

SRP5000轉台可以滿組您晶圓檢測的應用需求，其精度在變動負載條件中仍然非常可靠。

VULCANO2：高速精確定位

在重負載、高運動週期、大運動行程使用下仍有卓越動態特性與超高精度。ETEL的VULCANO2運動平台應用廣泛，從前段晶圓檢測到先進封裝，搭配QuiET主動式制振平台達到零整定時間並使產能達到極致表現。

RTMB+, TUCANA ST and AQUARIUS ST: IC轉塔測試新視界

來自ETEL 的RTMB+ 轉台滿足高速與高負載需求，增加工作站數，處理更大尺寸IC，驅動大尺寸轉台，更強大性能表現，並使您的製程更可靠，而 TUCANA ST 和 AQUARIUS ST，40G加速度，微小力量控制，力量控制確保在封裝和檢測過程中完全不損壞晶片與晶圓。