設備本土化的關鍵 – 超精密運動平台與控制系統

Aerotech於台北國際半導體展展出最新超精密運動平台與控制系統。

在半導體產業中，在多年來產官學研的努力下，許多廠商持續不斷將許多製造設備進行本土化(Localization)，提升台灣半導體產業的價格競爭力，以及設計靈活度等，但對於高精度製程設備，許多台灣廠商們仍苦於難以達到半導體製程的精密度與產能需求，不論是前段製程，與後段的先進封裝等等，在台灣半導體設備本土化中，有一關鍵技術對於未來提升設備的精度效能，相信能夠扮演重要角色，也就是「超精密運動平台與控制系統」的技術。

美商艾羅德克有限公司(Aerotech)，多年來專心致力於運動控制系統開發與製造，客群遍布半導體，平面顯示器，光通訊，雷射產業，以及各種研發單位，針對微米，次微米，至奈米等級定位系統進行開發與量產工作。除了移動平台的機構精度，幾何公差，動態精度規格外，專心致力於將精密量測技術與運動平台製造技術結合，以確保產品的精密度可符合半導體檢測製程，先進封裝製程，以及各種雷射製程需求。

近年來更在次系統(Sub-system)的開發上，整合氣浮軸承移動平台，花崗岩結構，以及主／被動式氣浮防震系統等等，有大量的實績，實際上協助海內外終端客戶專心於製程開發，而運動機構與控制系統得以取得完整解決方案。

本次台北國際半導體展，Aerotech攤位號碼為四樓N0380，展出氣浮軸承運動平台，光通訊Automation1控制系統，六自由度史都華平台，超精密壓電奈米移動平台，以及廣泛應用於半導體產業的PlanarDL XY平台，艾羅德克公司表示，台灣設備業者的本土化瓶頸，在多年的努力後，仍時常遇到機台設備不容易達到精度需求的議題，但這即是可以借助超精密運動系統可以協助克服的關鍵之一，若有設備精密度與高精度運動平台的應用問題，也歡迎至半導體展會場與艾羅德克公司討論，並參觀最先進的運動技術發展。