志尚展出10奈米超純水粒子計數器、ppt級氣態重金屬採樣分析技術 智慧應用 影音
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志尚展出10奈米超純水粒子計數器、ppt級氣態重金屬採樣分析技術

  • 李佳玲台北

志尚2016半導體展,展出10奈米超純水粒子計數器 (LiquidTrak Scanning TPC Model 9010)。
志尚2016半導體展,展出10奈米超純水粒子計數器 (LiquidTrak Scanning TPC Model 9010)。

9月7日至9日為一年一度的國際半導體盛會,志尚儀器將於現場特別展示相關半導體方面分析儀器設備。

除了以往展出MA/MB項目的線上酸鹼排放暨AMC分析系統以及最新的離子電泳分析儀(IMS)、MC項目上的RGA線上質譜系統以及線上型ppb級總有機性氣體(TVOC)外,2016年更將展出有關MD項目中的Dopant Gases中氣體重金屬的採樣分析技術以及10奈米級超純水或Slurry超微細粒子計數器。

志尚2016半導體展,展出ppt級氣態重金屬採樣分析技術。

志尚2016半導體展,展出ppt級氣態重金屬採樣分析技術。

此外也會展出高科技廠房常用的工安環保(IAQ)相關設備,歡迎業界先進蒞臨會場參觀指教,展示攤位號碼:南港展覽館四樓N176。

遙想25年前志尚儀器依照以往前輩的路線由代理專業氣體分析儀器起家,但在10餘年前的一個事件中了解到一個儀器公司如果以代理為主未來只會不斷的在更換代理及找代理中度過,猶如沒有根的浮萍,隨時隨地要為了爭取代理權而展開保衛戰。

因此開始嘗試提升自我的核心能力並鼓勵員工研發,進而初步進入了儀器研發、製造與系統整合的大門,之後又蒙教大環工所蔡春進教授的錯愛,得以技術轉移有關老師的核心技術。

近來不僅獲得相關科研單位的使用,最近更獲得多家高科技廠房的青睞,同時今年也同步在大陸、日本與韓國成功招募到產品的代理商,這不僅肯定志尚儀器多年來朝著高階精密分析儀器製造的努力,同時也告知相關半導體客戶,台灣的儀器廠商是有能力協助製造屬於自己的高階分析儀器設備。

為了達到提升自我核心能力,近年來志尚儀器為了不斷的追求品質目標,以提供客戶最佳的售後服務,不僅通過ISO9001:2008認證,之後又先後成立ISO 17025認證暨TAF第1936號氣體流率(Flow Rate)與氣體偵測器(Gases Monitor)校正實驗室,以提供客戶最優質的氣體流量計或校正器之校正,與可燃性?毒性氣體偵測之校正服務,以及全台第一家微污染氣體分析實驗室(AMC Lab.)可提供客戶有關潔淨室內酸鹼氣體及有機氣體的採樣分析,品質可達 ISO 17025等級。

當然最大的收穫就是在2010年有幸獲得國立交通大學蔡春進教授的首肯同意進行技術合作,並將已獲得中華民國專利的Denuder技術進行技術轉移,以便與ISO 17025實驗室結合,開發出新一代的AMC分析儀。此外,更與國外相關零組件工廠合作自行研發各類氣體分析儀及氣體校正設備。

近來更合作開發相關奈米微粒採樣設備,回收率可達95% 以上,與之前的Denuder合體可以同時且有效的採取氣體及奈米微粒樣品進行成分分析。

另外,更擴大與國外的技術交流,成功的開發出第三代的離子電泳分析儀(IMS),其設計除了捨棄傳統的化學Dopant外,也採用較低放射性的氚作為游離源,不僅可以一機同時偵測酸鹼兩種氣體,而且可以同時量測多種酸鹼性氣體。

此外,可加溫的偵測器設計可以避免樣品濃度過高造成汙染,另外因為不使用Chemical Dopant,因此也不會有如一些廠家在使用時因Dopant氣體與空氣中其他氣體反應形成結晶造成偵測器的汙染。

2016年對於志尚儀器而言是又是另一個新的里程碑開始,經過了25年的淬練,志尚儀器期待能再提供台灣高科技產業更多優質的產品,因此2016年志尚儀器更是推出世界唯一突破20奈米極限的超微細粒子計數器,專利的氣化器(Nebulizer)系統可將UPW或是Slurry超微細顆粒結合CPC的技術一舉突破光學粒子計數器20nm的極限。

另外更推出世界唯一可以將高科技廠房中Dopant Gases的重金屬微粒化後經由ICP-Mass分析可達5 ppt 的檢測下限;此外也取得最新的光聲光頻技術(PAS)可以同時量測高科技廠房內的Ammonia與HF兩種重要氣體。

自1990年成立至今,志尚儀器一直以成為產業界氣體分析儀的專業代理?製造商為目標,不僅之前代理相關歐美知名半導體及工安環保氣體偵測分析儀器,而後希望藉由相關ISO 17025實驗室的建立,將從一個單純氣體分析儀器代理商的角色,提升為氣體分析儀器製造商及系統統合商(Turn-Key Solution)。

現今又正式成立研發製造部門,正式踏足研發製造領域,我們自我期許希望志尚儀器可以成為具備由儀器諮詢→研發製造→儀器銷售→系統整合→分析校正服務→儀器租賃,提供客戶完整治標暨治本的解決方案。

當然目前志尚儀器也希望朝著本土化生產高階氣體分析儀器之目標不斷的提升自我能力,除了產品已取得CE相關認證部分,零組件也申請台、中、美的專利,現今不但多項設備獲相關半導體業界或傳統石化業界暨研究單位陸續採用中,另外也已經成功外銷相關高階氣體分析儀器至歐美等國。

期待台灣各高科技廠房能給與志尚儀器一個機會,讓本土企業有機會能夠在這個土地上生根。如需進一步志尚產品訊息,請上官網查詢。


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