永光化學拓展高頻通訊基材新商機 強化光阻劑產品

永光電化團隊：由左至右為永光化學電化研發處處長籃偉仁、永光化學電化營業處處長孫哲仁、永光化學總經理陳偉望、永光化學電化事業副總經理林昭文。

隨著半導體產業技術的演進，永光化學歷經十多年的研發精進，不僅已完整布局半導體製程G、I-Line光阻的產品版圖，成功供應給晶圓廠使用，同時還推出晶圓級封裝與系統封裝所需的化學增幅型厚膜光阻劑，並已陸續推廣至封裝廠以及穿戴式裝置供應鏈。

此外，因應物聯網的發展趨勢，永光更是投入高頻通訊基材的關鍵材料開發，試圖拓展新的商機。這些一系列的完備光阻劑產品，永光化學都將在2016年的半導體展會中完整呈現。

開發高頻通訊基材用關鍵材料

永光化學電化事業處副總經理林昭文表示，高頻傳輸是物聯網裝置的重要功能之一，使用的材料除了矽基材之外，也常採用碳化矽(SiC)或氮化鎵(GaN)等特殊材料。

為了因應此一市場趨勢，永光已開發出應用於高頻通訊基材之黃光微影製程I-Line光阻劑，包括薄膜用EPI 621以及厚膜用EPI 687新產品。前者用於基材的關鍵層，具高解析度、耐蝕刻特性佳等優點，而後者則是用在非關鍵層，具有高感光度、高耐熱性、耐蝕刻特性佳等特點。

此外，針對碳化矽(SiC)或氮化鎵(GaN)等基材，永光也已推出基材研磨液ESR 190，林昭文副總指出，這類材料非常堅硬，不容易拋光，因此漿料開發的條件較為嚴苛。

ESR 190是以特殊配方組成，適用於如碳化矽或氮化鎵等高頻通訊基材的平坦化拋光，可做為新世代高功率節能元件材料之表面處理解決方案。若搭配特殊的研磨加速劑，在1：1的配比混合下，可同時針對碳化矽基材的C-face及Si-face進行拋光，具有良好的拋光速率，並可有效將晶片表面的刮傷去除，提供功率半導體基板製作的解決方案。

光阻劑產品與時俱進 滿足客戶最佳化需求

在矽晶圓光阻劑產品方面，永光主要產品包括：應用於晶圓前段製造之離子植入與保護層的EPG系列、以及EPI系列(高解析度)光阻劑；應用於IC封裝的ECA系列(化學增幅型)厚膜光阻劑、EPG系列傳統正型光阻劑、ENPI系列負型光阻劑。此外，還有應用於可撓性顯示器與薄膜感測器製造的FSR系列光阻劑和DFR系列之正型乾膜光阻劑。

林昭文副總表示，因應晶圓級封裝產業推出的化學增幅型厚膜ECA 150系列光阻劑，主要針對金凸塊(gold bump)、銅柱(Copper Pillar)等製程使用，在不同的製程條件下，即使厚膜也可表現出優異的深寬比，且高感光度特性也可改善產線中昂貴曝光機台的瓶頸，進一步提升產能與速度，更擁有不易脆裂、耐電鍍液、附著性佳等特性，以及更佳的深寬比解析能力(深寬比大於10)。

他強調，隨著半導體元件朝多晶片整合趨勢發展，晶圓級封裝及3D等高階應用的重要性日益升高，也是各家業者積極搶進的市場。與目前成熟製程採用的傳統DNQ光阻劑相比，化學增幅型光阻劑在感光度、解析度與技術門檻等各方面的效能都更為優異。因此，客戶利用既有的曝光機台就能有效縮短曝光時間，因此能顯著提升產能。

目前高階晶片市場已逐漸朝化學增幅型光阻移轉，這是永光非常重視的市場，已在2016年設置了完整的驗證與生產檢測系統，以進一步強化品質。

另一方面，在2016年半導體展中，I-Line高解析度系列光阻劑也是展覽的主軸之一，其應用於晶圓特殊製程的離子植入層，不僅感光性高，製程寬容度大，且具有更高的解析度。

林昭文副總指出，永光已建構了I-Line光阻劑的完整技術平台，從2016年起將朝客製化方向發展，透過與客戶合作，搭配永光自主研發團隊與高品質的生產管理系統，可提出製程改善的方式，為客戶提供更佳的良率與成本效益，並滿足客戶使用上的特殊需求。目前已有台灣業者開始與永光展開合作。

以差異化策略因應紅色供應鏈挑戰

在積極強化產品組合與開創市場的同時，永光化學總經理陳偉望也不諱言，光阻劑市場在大陸的發展正面臨了強大的競爭與挑戰。

他指出，大陸政府透過資金與政策支持雙管齊下的方式，強化半導體產業本地供應鏈的體質，這是一種霸氣、且強力主導的計畫性經濟模式。光阻劑這類關鍵材料也是其扶植重點，即使我們目前還有競爭優勢，但長期來看一定會受到衝擊。

對此，台廠必須體認到，大陸產業的質變以及快速進步，這更是一種全民意識的展現，以本地產品取代進口為終極目標。我們不能忽略大陸產業的未來競爭力與影響力，這絕對不是只是靠砸大錢塑造出的表面現象而已。

此外，隨著競爭力提升，大陸業者也不會僅滿足於供應鏈本土化，而是朝建構一帶一路策略，放眼全球市場的宏觀視野發展。老實說，這種氣魄與格局，是台灣產業所遠遠不及的。

面對這樣的未來競爭態勢，陳偉望總經理認為，大陸廠商不會輕易放過任何大量、主流的市場，以尋求最大的獲利機會。為了避免直接競爭，台廠的機會在於差異化競爭，若專注於少量高規、精緻的市場需求，我們還是擁有許多機會。

他強調，有這樣強大的競爭對手環伺在側，我們一定不能懈怠，才能在市場上持續佔有一席之地。關鍵在於，我們不要只關注於競爭同業的動作，而是要貼近客戶，真正地與客戶共舞，瞭解並滿足的客戶的需求。而要達成這樣的目標，有賴於合作夥伴的協助，才能共創雙贏。

永光化學2016 半導體展展出攤位號碼：台北南港展覽館1樓 J區2612攤位， 將展出G-Line & I-Line光阻劑、半導體封裝製程用(Bump)之化學增幅型厚膜光阻劑、保護層用光阻劑、離子植入層用光阻劑、高頻基板用光阻劑、高頻基板研磨漿料以及藍寶石研磨漿料。

為了讓參觀者更認識永光化學開發的一系列產品，電化營業處處長孫哲仁表示，2016年的展場設計有別於以往，將以體驗式行銷的方式讓參觀來賓不僅了解永光，也能瞭解電化產品所應用的產業領域。透過遊戲互動，公司人員可引領來賓或廠商進入永光攤位，詳細說明有興趣或需求的產品。永光化學誠摯邀請業界先進到場參觀指教。